真空粘塵機VA-2000

本設備由4根滾輪毛刷和4根輸送滾輪構成、是去除基板表面及線路溝槽間的異物及灰塵的清潔設備。滾輪毛刷組合由箱形進行密封，在其上下方安裝吸塵器，將各種各樣的異物回收到吸塵機內。  可改善內短25%以上

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MC-1200

本機器由4根(上下各2根)清潔滾輪和2根（上下各1根）清潔膠紙構成，用來清除基板上的灰塵與垃圾。

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MC-2000

本機器由4根清潔滾輪和4根清潔膠紙構成，用來清除基板上的灰塵與垃圾。
清潔膠紙與清潔滾輪的抽屜式拉出機構，方便物品更換與保養。
具有跳躍功能，滾輪在和曝光膜接觸前，上方滾輪通過傳感器自動感應并跳躍過曝光膜的前端有效防止了卷膜的發生。并且可以預防超薄基板的卷板現象發生。

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