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本機器由4根(上下各2根)清潔滾輪和2根(上下各1根)清潔膠紙構成,用來清除基板上的灰塵與垃圾。
本機器由4根清潔滾輪和4根清潔膠紙構成,用來清除基板上的灰塵與垃圾。 清潔膠紙與清潔滾輪的抽屜式拉出機構,方便物品更換與保養。 具有跳躍功能,滾輪在和曝光膜接觸前,上方滾輪通過傳感器自動感應并跳躍過曝光膜的前端有效防止了卷膜的發生。并且可以預防超薄基板的卷板現象發生。
本機器的構造是基板從機器上方投入,清潔除塵后再返回機器上方的豎式帶有往返機構的粘塵機。 本機器的寬度只有320mm的設計制造使原來水平式往返機構的機器因放置不下而不能使用清潔機的狹窄場所也能進行設置使用。而且,無論從機器左方還是右方都能進行基板的投入清潔,因此可以將本機器設置在設備與設備之間進行左右兩側投板方式的基板的清潔除塵。 本機器由4根清潔滾輪和4根清潔膠紙構成,可以同時去除基板正反面兩側的灰塵和塵埃。