1.品名
清潔滾輪式粘塵機
ＭＣ‐２０００
2.生產流程概要
本機器由4根清潔滾輪和4根清潔膠紙構成，用來清除基板上的灰塵與垃圾。
清潔膠紙與清潔滾輪的抽屜式拉出機構，方便物品更換與保養。
具有跳躍功能，滾輪在和曝光膜接觸前，上方滾輪通過傳感器自動感應并跳躍過曝光膜的前端有效防止了卷膜的發生。并且可以預防超薄基板的卷板現象發生。
3.機器的特征
● 清潔膠紙的抽屜式拉出機構
根據抽屜式拉出機構可以很簡單地進行清潔膠紙的更換。
● 清潔滾輪的抽屜式拉出機構
根據抽屜式拉出機構可以很簡單地對清潔滾輪進行維修保養。
● ＭＤＣ方式（非接觸式驅動+棘輪機構）
● 非接觸式驅動
電機和清潔滾輪之間使用磁力驅動輪進行非接觸式驅動。
2根據非接觸式驅動可以完全杜絕從驅動部產生垃圾，用不著用擋板來阻擋和回收機器內部的垃圾。
2非接觸式驅動有以下幾個優點。
低噪音。
機器過載（比如基板發生夾板堵塞時）時不會損傷機器。在驅動部不使用齒輪，傳送皮帶等部品，因此消耗品很少。
● 棘輪機構
磁力驅動輪上裝有棘輪機構，吸收清潔機的前后機器的速度差，保持速度一致。
● 跳躍功能
當基板進行清潔時根據機器跳躍功能使入口處的上方滾輪跳過基板的前端，具有以下的優點：
2因為基板在進入清潔滾輪的一瞬間，跳躍功能使滾輪跳過基板的前端避免了基板與滾輪因沖撞而產生的負荷。
2在曝光機的前方使用時，剛好跳躍過曝光膜的前端，有效防止了曝光膜的卷膜現象的發生。
2在進行薄型基板的清潔除塵時，跳過基板的前端，有效防止了薄型基板被卷進清潔滾輪中的現象發生。
2根據切換開關可以選擇進行一般的不跳躍運轉和跳躍運轉。
● 觸摸式控制面板
采用觸摸屏對機器進行操作控制。
觸摸屏設置在機器的正上方，便于操作。
● 計數功能
在觸摸屏上設定好過板數，當到達設定值時，觸摸屏上自動出現通知畫面，
并且畫面顏色變為紅色，同時蜂鳴器發出報警音。
● 除靜電對策
離子式除靜電棒分別安裝在出口處的上下方。
上下方離子式除靜電棒可以直接從機器后方拔出來，免于清掃及日常保養。
● 用變頻器進行電機的穩速控制
通過用變頻器控制使電機速度穩定，而且與一般使用的電磁式電機相比降低了電機回轉數，提高了節能率。
● 運轉速度的數字化表示運轉速度的數值設定，實現了了速度的數字化控制。
● 其他
2 機器的本體支架采用了鋁合金角支架進行組裝的，不僅提高了本體支架的強度，而且減輕了重量。
2 為了防止機器本體外罩以及支架的噴涂油漆的脫落，機器的所有部分都是使用不銹鋼材料進行組裝。
2 為了保持清潔室的清潔度，讓機器內部的空氣與清潔室之間的空氣對流無阻，電氣部的部品都是采用豎立式結構被固定在機器上。
4.可清潔基板
尺寸 寬度 620 ㎜（MAX）
厚度 t 0.04 ～ 2.0 ㎜
5. 機器規格
1）傳送方向 *根據指定
2）過板高度 *請指定高度
3）防靜電對策 在機器出口側上下方安裝離子式除靜電棒
除靜電裝置 交流是除靜電裝置
輸出電壓 AC7000V
※ 上下方離子式除靜電棒可以直接從機器后方拔出來，清掃起來很容易。
4）滾輪和清潔膠紙的保護功能
切斷電源或者關閉機器的運轉開關時,清潔膠紙自動跳起,與滾輪分離開。
5）清潔滾輪驅動部
清潔滾輪的驅動方式 MDC方式
（非接觸式驅動 ＋ 棘輪離合器）
電機的驅動方式 變頻器穩速控制
電機驅動 25 W ×1個
傳送帶速度 1 ～ 18 m/min（可變）
速度設定方式 根據數值的入力的改變
速度表示 速度的數值化表示 4位
6）基板的跳躍功能
跳躍方式 能夠進行以下方式的切換。
① 只有入口處的第一段清潔滾輪進行跳躍
② 第一段和第二段清潔滾輪都跳躍
③ 不進行跳躍（推薦厚度為1.0 ㎜以下的基板使用）
設定部 在觸摸屏上進行設定
設定項目 ① 跳躍方式
② 跳躍距離
跳躍高度 約 2.5 ㎜
7）清潔滾輪 抽屜式拉出機構
型號 GR005-50
有效寬度 640 ㎜
硬度 50 °
外徑 φ 50 ㎜
使用根數 上下各2根，共4根
